Back Soft lithography English ソフトリソグラフィ Japanese 소프트 리소그래피 Korean 軟微影技術 Chinese

Litografia suau

Figura 1 - "Entintar" un segell. El segell PDMS amb patró es col·loca en una solució d'etanol i ODT (octadecanetiol).

En tecnologia, la litografia suau és una família de tècniques per fabricar o replicar estructures utilitzant "segells elastomèrics, motlles i fotomàscares conformables". S'anomena "suau" perquè utilitza materials elastomèrics, sobretot PDMS.[1][2]

Figura 2 - L'ODT de la solució s'estableix al segell PDMS. Ara el segell té un ODT que actua com a tinta.

La litografia suau s'utilitza generalment per construir característiques mesurades a escala de micròmetre a nanòmetre. Segons Rogers i Nuzzo (2005), el desenvolupament de la litografia suau es va expandir ràpidament entre 1995 i 2005. Les eines de litografia suau ara estan disponibles comercialment.[3]

Figura 3 - El segell PDMS amb l'ODT es col·loca sobre el substrat daurat. Quan s'elimina el segell, l'ODT en contacte amb l'or es queda enganxat a l'or. Així, el patró del segell es transfereix a l'or mitjançant la "tinta" ODT.
  1. ↑ Qin, Dong; Xia, Younan; Whitesides, George M. «Soft lithography for micro- and nanoscale patterning» (en anglès). Nature Protocols, 5, 3, 3-2010, pàg. 491–502. DOI: 10.1038/nprot.2009.234. ISSN: 1750-2799.
  2. ↑ «Soft Lithography - an overview | ScienceDirect Topics» (en anglès). https://www.sciencedirect.com.+[Consulta: 18 juliol 2023].
  3. ↑ «Research Micro Stamps: Commercially available micro stamps on tv» (en anglès). RMS. [Consulta: 17 gener 2017].

Developed by StudentB