Il titolo nobiliare di Duca di Massa fu creato nel 1664 dall'imperatore Ferdinando III d'Asburgo in favore di Alberico II Cybo-Malaspina, precedentemente Principe di Massa, e sovrano dello stato apuano. Ebbero questo titolo:
- Alberico II Cybo-Malaspina (1664-1690)
- Carlo II Cybo-Malaspina (1690-1710), figlio del precedente
- Alberico III Cybo-Malaspina (1710-1715), figlio del precedente
- Alderano I Cybo-Malaspina (1715-1731), fratello del precedente
- Maria Teresa Cybo-Malaspina (1731-1790), figlia del precedente
- Maria Beatrice d'Este (1790-1829), figlia della precedente
Alla morte di Maria Beatrice lo stato scomparve come entità indipendente, ma il titolo è stato portato dai suoi immediati successori
- Francesco IV di Modena (1829-1846)
- Francesco V di Modena (1846-1875)
- Francesco Ferdinando d'Asburgo-Este (1875-1914)