Back طباعة حجرية نانوية Arabic Nanolitografie Czech Nanolithografie German Νανολιθογραφία Greek Nanolithography English Nanolitografía Spanish Nanolitograafia Estonian Nanolitografía Galician ננוליתוגרפיה HE Nanolitográfia Hungarian
La nanolitografia (NL) és un camp creixent de tècniques dins de la nanotecnologia que s'ocupa de l'enginyeria (per exemple, gravat, dipòsit, escriptura, impressió, etc.) d'estructures a escala nanomètrica sobre diversos materials.
El terme modern reflecteix un disseny d'estructures construïdes en un rang de 10−9 a 10−6 metres, és a dir, escala nanomètrica. Essencialment, el camp és un derivat de la litografia, que només cobreix estructures molt petites. Tots els mètodes de NL es poden classificar en quatre grups: fotolitografia, litografia d'escaneig, litografia suau i altres tècniques diverses.[1]
_(48539692681).jpg)
- ↑ Hawkes, Peter W. Advances in imaging and electron physics. Volume 164 (en anglès). Amsterdam: Academic Press, 2010. ISBN 978-0-12-381313-8. OCLC 704352532.