Back طباعة حجرية نانوية Arabic Nanolitografia Catalan Nanolithografie German Νανολιθογραφία Greek Nanolithography English Nanolitografía Spanish Nanolitograafia Estonian Nanolitografía Galician ננוליתוגרפיה HE Nanolitográfia Hungarian
Nanolitografie je odvětví nanotechnologie, které se zabývá studiem a přípravou struktur v nanometrovém rozlišení, tedy objekty, jejichž alespoň jeden rozměr leží v oblasti od velikosti atomu do 100 nm. Nanolitografie se používá při výrobě špičkových integrovaných obvodů nebo mikroelektromechanických systémů (MEMS) respektive nanoelektromechanických systémů (NEMS) .